DL-10A型石英真空计

一、概述
DL-10A型石英真空计是用石英晶振做传感器的真空计。它的量程较宽，精度较高。该真空计由规管与控制单元组成，控制单元的数码管显示压强值。

二、技术要求
1. 测量范围：5×10-1-105Pa
2. 电源：交流220V,50Hz
3. 功率：7W
4. 机箱尺寸：180mm长（不含耳边160mm）×80mm（高）×200mm（深）
5. 线缆长度2米

三、工作原理
DL-10A型石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振在DL-10A型石英真空计中，既是振荡器的一元件，又是测量气体压强的传感器。石英晶振装在铝壳中做成规管，管径为15.5mm，可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示：

图1 谐振阻抗测量电路
谐振阻抗Z=
VAB为晶振两端电压
I 为流过晶振的电流
电流I流过与晶振串联的电阻R，在电阻两端的电压为VBD
∴ I = 
Z=R
VAB 近似等于AC两端电压V0,VBD近似等于DC两端电压V1，由测量的V0，V1值及电阻值，可以计算出阻抗。单片机将阻抗转换成压强，由数码管显示压强值。

四、石英真空计的特点
石英真空计的特点是传感器体积小，DL-10A型石英真空计采用的晶振尺寸为：3.2mm1.5mm。这样，该真空计除与其它真空计一样测量气体压强外，它能测量小体积，例如1cm3大小的密封器件的气体压强，并能检测真空的保持状态。

五、DL-10A型石英真空计的安装
DL-10A型石英真空计的安装如图2所示：

控制单元
图2  DL-10A  的安装
石英晶振及振荡电路放在探头内，引线电缆通过5芯插头插入控制单元后面板的插座内，探头Φ15.5直径的管道插入真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座，另一端插入电源插座。电源插座应含接地线，使控制单元机箱接地。打开电源开关，控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值为3.2×102Pa 。

六、校准
当环境温度变化时，应对DL-10A进行校准，校准方法如下：
零点调节：开机半小时稳定后，在规管压强小于10-3Pa时，用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键，松开后即可。如果真空系统达不到10-3Pa，不可按压零点按键。
大气调节：将规管暴露大气，用改锥按压控制单元前面板大气孔内的按键，松开后即可。