北京大学电子学系
2009年2月
DL-10型真空计技术条件
本标准适用于DL-10型石英真空计
一、技术要求
1、测量范围：10—105Pa。
误差不超过10%
2、在15分钟内阻抗漂移不超过20Ω。
二、实验方法
1、测量范围及误差的测试装置如下图所示：
测量范围及误差测试装置
G1：DL-10规管 D1: DL-10控制单元
G2: 付标准真空计规管 D2: 付标准真空计控制单元
P:扩散泵真空机组
图中付标准真空计为：
MKS626型薄膜真空计
Accuracy 0.5% of Reading 626
CMR263型薄膜真空计INFICON
Accuracy 0.2% of Reading
DL-4 型压敏电阻真空计
打开DL-10电源，在大气时调节大气按键，压强指示为1.0105Pa。扩散泵将真空抽至低于510-3Pa（用DL-5型热阴极电离真空计测量），调节零点。关闭阀门F,调节微调阀ZF，使压强在10—105Pa变化，DL-10真空计与付标准真空计比对，在1—105Pa符合技术要求规定。
2、阻抗漂移的测试
DL-10阻抗数值由RS232串口送至PC机，由PC机读取阻抗数值，测试装置仍为上图所示，测试压强小于5×10-3Pa，15分钟内阻抗漂移不超过20Ω。
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