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[技术交流3] 电离-皮拉尼复合真空计的维修与保养
电离-皮拉尼复合真空计的维修与保养
添加时间 2014-7-21 14:48:56 点击次数 2516 次 返 回
1.复合真空计型号:
BPG400(B-A 规+皮拉尼)
HPG400 (热规+皮拉尼)
BCG450 (热规+皮拉尼+薄膜规)
2.复合规BPG------电气连接
电气连接:
针2 测量信号输出
针5 电源地
针7 除气
针8 24V电源
针11 18~26V电源
针12 信号地
针13 RS232C TXD
针14 RS232C RXD
针15 接外壳接地
3.复合规BPG------信号输出
1输出电压范围:0-10V;
2测量信号输出范围0.774—10V;
3输出0.3V=热阴极故障
4输出0.5V= 皮拉尼故障
5输出电压与压力的关系式:(对数输出)
P= 10 (U-7.75)/0.75+C
P:实际压力; U :输出电压;
C:常数 mbar :0 pa: 2 Torr : -0.125
例如:BPG的输出信号为4.00 V,
那么实际压力为P= 10 (4-0)/0.75+0 =1x10-5 mbar
4.复合规BPG------维护
调满量程
1 大气压下规管通电至少10分钟
2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少5秒种
3 规管自动完成调整
零点调整
1 在压力《1x10-4mbar下规管通电至少10分钟
2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少2秒种
3 规管2分钟后自动完成调整
除气
除气只能在压力低于 7.2E-6 mbar 以下进行
除气主要目的是清除灯丝污染
除气时收集极温度700度,除气功率4W,16mA
除气时显示值偏大
除气3分钟自动结束
除气可通过接口,或由连接的显示仪表激活
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